半導體是一種作為信息處理的元件材料。從科技或是經(jīng)濟發(fā)展等各方面的角度來看，半導體都是比較重要的存在。但是由于半導體工藝對于操作間的要求較高，生產(chǎn)過程中也難免會產(chǎn)生有機廢氣，那么半導體行業(yè)的廢氣特征和廢氣治理該如何做呢？

首先半導體行業(yè)的廢氣排放具有排氣量大、排放濃度低的特點。產(chǎn)生的廢氣也屬于VOCs有機廢氣，廢氣會逸散在生產(chǎn)車間內(nèi)。

  半導體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分。在此過程中，這些有機溶劑大部分揮發(fā)到廢氣中。目前，焚燒這種處理凈化方式較為適用于這種氣體排放。

  焚燒爐也廣泛用于半導體工業(yè)，處理各種有機廢氣，并通過熱氧化將有機物質(zhì)轉(zhuǎn)化為CO2和水。同時焚燒也是一種處理廢氣的好方法，有穩(wěn)定的流量和濃度。在熱氧化中，有機廢氣流被加熱，氣相中的有機物被氧化。為了節(jié)省燃料的使用，通常使用熱交換器來回收焚燒產(chǎn)生的熱量，以預熱輸入的氣體。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。